各種氣體配管配件要求
在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小,其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量、露i點(diǎn)的要求也越來越高。
高純氮?dú)?PN2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
氮?dú)?N2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。
高純氫氣(PH2)氫氣(H2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,氣體管道,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。(Ar):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
氦氣(He):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
特氣系統(tǒng):必要的還需做雙套管:外管酸洗鈍化(AP)處理,內(nèi)管電解拋光(EP),閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
對于特殊氣體來講,氣體品種多,有毒有害氣體多,原來是一機(jī)臺配一氣柜,高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本,且有的還布置在工藝間內(nèi),存在著泄漏的安全隱患?,F(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng),氣柜集中,自控系統(tǒng)不斷完善,其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟,氣體管道溫差,特氣間也與工藝間隔離,并對房間有防爆要求,工作的安全性大大提高。
氣體管道工程泄漏檢查的方法有哪些?
氣體管道(gas pipeline)包括控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等,宜集中設(shè)在氣體入口室。
Ai級試漏
對氣路嚴(yán)重泄漏的粗略觀察。通常在氣源打開并穩(wěn)定之后,不應(yīng)聽到氣路流經(jīng)的各管路及閥件接頭處有絲絲的跑氣聲,如聽到明顯的漏氣聲,說明系統(tǒng)有大漏!必須依據(jù)漏氣聲,追查出泄漏處,并加以排除。引起系統(tǒng)大漏的常見原因是:氣路接頭沒上緊,氣路中管路開裂及沒加合適的墊片等。查找氣路的嚴(yán)重泄漏,也可在流 路的流量開到頂值時,用肥皂水在各接頭逐步測試有無氣泡出現(xiàn)而加以證實(shí)。
B級試漏
對氣路中輕微漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口,觀察氣路中流量計內(nèi)的轉(zhuǎn)子。如果能緩緩下降為零,即可認(rèn)為此氣路B級試漏合格。如轉(zhuǎn)子不能降到零,可用肥皂水在各接頭處仔細(xì)觀察。直到找到泄漏處為止。
C級試漏
對氣路中極i小漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口,觀察系統(tǒng)壓力表,不得在半小時之內(nèi)有5kPa(相當(dāng)于0.05kgf/cm2)以上的下降。此時系統(tǒng)壓力應(yīng)在0.25MPa(相當(dāng)于2.5kgf/cm2)以上。必要時可在系統(tǒng)出口處外接一個0.5級標(biāo)準(zhǔn)壓力表來讀取壓力變化數(shù)。
在證實(shí)氣路系統(tǒng)有泄漏時,可用分段堵住或關(guān)閉氣路的方法來縮小漏氣發(fā)生的范圍。絕大多數(shù)的漏氣點(diǎn)都發(fā)生于氣路接頭處,而氣路閥件內(nèi)部的泄漏也時有發(fā)生,至于管路中間的泄漏,除了急轉(zhuǎn)彎處以外是很少見的。
實(shí)驗室氣體管道供氣系統(tǒng)
實(shí)驗室氣路安裝指實(shí)驗室氣體工程,即從氣瓶至儀器終端之間連接管線,JHP一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成。目前主流氣路編排主要為實(shí)驗室集中供氣系統(tǒng)。
公司提供全i方位的實(shí)驗室氣體管道供氣系統(tǒng),滿足不同實(shí)驗的用氣要求與安全。采用匯流排供氣設(shè)備,氣體管道系統(tǒng),進(jìn)行雙瓶帶手動、半自動、全自動切換功能,帶有低壓報警裝置,實(shí)時監(jiān)控氣體壓力,濃度偵測報警和排風(fēng),保證客戶正常用氣需求和生命財產(chǎn)安全。
溫馨提示:以上是關(guān)于氣體管道-珂銳弘揚(yáng)流體控制系統(tǒng)-氣體管道系統(tǒng)的詳細(xì)介紹,產(chǎn)品由蘇州珂銳弘揚(yáng)流體控制系統(tǒng)有限公司為您提供,如果您對蘇州珂銳弘揚(yáng)流體控制系統(tǒng)有限公司產(chǎn)品信息感興趣可以聯(lián)系供應(yīng)商或者讓供應(yīng)商主動聯(lián)系您 ,您也可以查看更多與化工成套設(shè)備相關(guān)的產(chǎn)品!
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