人類社會的存在,科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和發(fā)展,已成為21世紀(jì)首要的戰(zhàn)略儲備物資,且與各國的政治經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展有著息息相關(guān)的緊密聯(lián)系,在已知的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域中,高純材料、合金、各種深加工的制品(半成品)及化學(xué)制品,已被廣泛應(yīng)用到冶金鋼鐵,石油化工,有機(jī)化工,酸霧吸收塔廠,化工,電子電器,汽車制造,光學(xué)玻璃,玻璃纖維。
現(xiàn)在行業(yè)中通用的測量方法基本是手動進(jìn)行的,其劣勢在于手動測試受人為因素 (用力的大小,接觸面積等)影響較大,酸霧吸收塔廠家,手動測試無法實(shí)現(xiàn)同一被測物目標(biāo)的多次數(shù)值的重現(xiàn),手動測試時(shí)只能達(dá)到每次測試出來一個數(shù)值,無法做產(chǎn)品的分析。另外一般的電阻測量儀器受溫度和濕度的影響較大,無法測量,導(dǎo)致不能得出的數(shù)值,從而不能保證廣品的品質(zhì)。
在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出來.而互連線的寬度卻在減小。硅片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細(xì)晶粒,淮南酸霧吸收塔,這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。另外,薄膜的純度與靶材的純度關(guān)系極大,過99.995%(4N5)純度的銅靶,或許能夠滿足半導(dǎo)體廠商0.35pm工藝的需求,但是卻無法滿足如今0.25um的工藝要求。
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