濺射靶材ITO靶材的生產(chǎn)工藝?ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種:熱等靜壓法(HIP)、濺射靶材熱壓法(HP)和氣氛燒結(jié)法。各種生產(chǎn)工藝及其特點簡介如下:
熱等靜壓法:ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預先成形的胚體,在800℃~1400℃及1000kgf/cm 2~2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結(jié)。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機械性能好,但設(shè)備投入高,生產(chǎn)成本高,純銀板材誰家好,產(chǎn)品的缺氧率高。
使用電子導電性橡膠時,由于導電性填充劑添加量的變化都會引發(fā)電阻劇烈變化,所以存在電阻值很難控制的問題。而且,由于橡膠中的導電性填充劑難以均勻分散,蕪湖純銀板材,所以輥筒的圓周方向和寬度方向上的電阻值不均勻。
對橡膠組合物進行硫化處理的方法包括使用加壓裝置和硫化處理槽的間歇式或連續(xù)式硫化法。用間歇式硫化法進行硫化處理制造輥筒時,由于端部和中央部分會產(chǎn)生壓力和熱傳遞差,所以電阻值不均勻。
鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,純銀板材廠家,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應,純銀板材回收,與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。
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