航天技術(shù)的不斷發(fā)展, 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設計制造中必須考慮的關(guān)鍵因素,越來越多的收到各方關(guān)注,相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視,目前應用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品,采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實驗程序。
對檢漏方法的要求:穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度;所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域:空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等;真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng);對于容積較小的部件,如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等,采用氦罩法被檢工件抽空,檢漏儀調(diào)到漏率(10-11Pa.m3/s),汽車行業(yè)檢漏廠商,然后對氦罩沖氦。
氦質(zhì)譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進行檢測,對被檢件泄漏點進行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng),將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部,然后將該混合氣體離化,并將離子加速送入磁場當中,利用帶電離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)效應,使氦離子與其它離子分離,通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示,從而反映出被測器件的密封性。
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