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主營：氦檢漏系統(tǒng),非標定制氦檢漏回收系統(tǒng)
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氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測產(chǎn)品中是否存在微小泄漏的設(shè)備。其工作原理主要是基于氣體超聲波流量計的工作模式，通過向被測介質(zhì)施加高頻聲信號并記錄回響來測量介質(zhì)的流動情況。當有泄露發(fā)生時，就會產(chǎn)生相應(yīng)的壓力波動，這些變化會經(jīng)過一些復雜的處理過程轉(zhuǎn)化為電信號輸出來實現(xiàn)終的診斷結(jié)果分析。具體來說，該系統(tǒng)的組成部分包括傳感器、前置器與顯示器等幾個部分：首先，傳感器負責實時監(jiān)測氣體的壓強和流速；其次，需要將實時的數(shù)據(jù)信息進行轉(zhuǎn)換放大后輸送給后續(xù)的前置器進行處理;由顯示屏對數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計和分析得出具體的判斷結(jié)論。整個過程的操作都是自動完成的，不需要人工干預和處理.簡而言之就是利用頻率響應(yīng)的方式識別出因受載而產(chǎn)生的體積漲落的特征光譜及其位置移動現(xiàn)象來實現(xiàn)對于整體容器的狀態(tài)評估。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機、進氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進行準確的測定，因此廣泛應(yīng)用于半導體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個密封件是否有缺陷。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測產(chǎn)品泄漏率的設(shè)備。其工作原理主要包括以下幾個步驟：1.首先，將待測物品放入真空氣密腔內(nèi)，真空箱氦檢設(shè)備，氣密腔由被抽空的內(nèi)室和連接的管道組成；其中，在內(nèi)室的頂部裝有頂針機構(gòu)，當需要放氣時可通過控制電路打開頂針使氣體進入大氣中排放到室外或通過冷凝回收裝置進行收集處理。在進氣管上還設(shè)有壓力表、電磁閥與充注等附件供操作人員在試驗前對氣壓進行檢查和控制以及向氣路系統(tǒng)中充入惰性保護氣體。2.然后啟動增壓泵開始抽出測試倉的壓力至0.5-0.6KPa(5-6mbar)左右，關(guān)閉增壓泵電源并接通試件控制系統(tǒng)電源，并將探頭安裝在密封容器的法蘭盤處。3.利用示差法判別泄露部位及大致位置尺寸;根據(jù)讀數(shù)可以判斷出泄漏率的大小。
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