由于IC芯片比較精密主要由微型電子器件或部件構(gòu)成。采用一定的工藝,把一個電路中所需的晶體管、二極管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu);其中所有元件在結(jié)構(gòu)上已組成一個整體,使電子元件向著微小型化、低功耗和高可靠性方面邁進(jìn)了一大步。但越精密的電路,檢測難度就越復(fù)雜。當(dāng)前芯片檢驗(yàn)的常用方法通常是將芯片層層剝開,再用電子顯微鏡對每一層表面進(jìn)行拍攝,這樣檢測方式對芯片具有極大破壞性,此時(shí),X-ray無損檢測設(shè)備可提供解決方案。
在自動化生產(chǎn)工業(yè)設(shè)備過程當(dāng)中要對產(chǎn)品的品質(zhì)進(jìn)行判斷,傳統(tǒng)的人工肉眼判斷效率較低,而且在判斷過程當(dāng)中往往因?yàn)橐曈X重影和光照等問題影響對質(zhì)量的判斷精度,而選擇AOI檢測機(jī)系統(tǒng)后可以進(jìn)行高速的數(shù)據(jù)處理,也將檢測結(jié)果進(jìn)行共享,那么AOI檢測機(jī)有哪些特殊設(shè)計(jì)呢?
1、集成技術(shù):由于對大幅面或復(fù)雜結(jié)構(gòu)物體的視覺檢測,會受到視場和分辨率(或精度)的相互制約,再加上產(chǎn)線的生產(chǎn)節(jié)拍對檢測速度也有一定要求,單相機(jī)組成的AOI檢測系統(tǒng)有時(shí)難以勝任。因此可能需要多個基本單元集成在一起協(xié)同工作,共同完成高難度檢測任務(wù),即多傳感器成像、高速分布式處理的檢測機(jī)集成架構(gòu)。AOI系統(tǒng)集成技術(shù)會牽涉到關(guān)鍵器件、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、整機(jī)集成、軟件開發(fā)等內(nèi)容。
2、光學(xué)感知:圖像傳感器、鏡頭和光源三者組合構(gòu)成了大多數(shù)自動光學(xué)檢測系統(tǒng)中感知單元。光源的選擇除了分辨與增強(qiáng)特征外,還需考慮圖像傳感器對光源光譜的靈敏度范圍;鏡頭的選擇需要考慮視場角、景深、分辨率等光學(xué)參數(shù);與人眼不同,自動在線3D Xray,質(zhì)量可靠的檢測機(jī)A系統(tǒng)多采用黑白相機(jī)成像,是為了提高成像分辨能力,對于運(yùn)動物體的檢測,還要考慮圖像運(yùn)動過程中拍攝圖片模糊帶來的不利影響。
3、精密機(jī)械:在價(jià)格適中的檢測機(jī)系統(tǒng)中,被測物體的支撐方式、精密傳輸與定位裝置也必須精心設(shè)計(jì),尤其是FPD、硅片、半導(dǎo)體、MEMS和一些光學(xué)組件等精密制造與組裝。要求檢測機(jī)有很高的自潔能力,不能給生產(chǎn)環(huán)境尤其是被測工件本身帶來二次污染,這會影響系統(tǒng)構(gòu)件的材料選型、氣動及自動化裝置選型、運(yùn)動導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)與器件選型等。
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無損傷檢測又稱無損傷檢測,是指在不損傷被檢測的情況下,利用材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)異?;蛉毕菀鸬臒帷⒙?、光、電、磁等物理量的變化,檢測各種工程材料、零件、結(jié)構(gòu)件等內(nèi)部和表面缺陷。
常用的無損檢測方法有射線照相檢測、超聲波檢測、渦流檢測、磁粉檢測、滲透檢測、視覺檢測、泄漏檢測、聲音發(fā)射檢測、射線透I視檢測等。
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