定片式真空泵:在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子,泵殼上裝有一個始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片,當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。余擺線式真空泵:在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉(zhuǎn)子,它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。多室旋片式真空泵:在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機驅(qū)動的多個獨立工作室的旋片真空泵。
干泵;國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。
腐蝕高分子復(fù)合材料修復(fù)真空泵腐蝕真空泵腐蝕的形態(tài)可分為(均勻)腐蝕和局部腐蝕兩大類,前者較均勻的發(fā)生在真空泵全部表面,后者只是發(fā)生在局部,如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應(yīng)力腐蝕等。采用高分子復(fù)合材料對真空泵實施表面有機涂層防腐,其具有良好的耐化學(xué)性能及優(yōu)異的力學(xué)性能和粘接性能,與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補相比,具有施工簡便、成本低、安全性能,修復(fù)效果好的特點。
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