工業(yè)上大量使用的是工業(yè)純稀土金屬,較高純度的稀土金屬主要供測定物理化學(xué)性能之用。主要有四種提純方法在試驗(yàn)室中使用,即真空熔融,真空蒸餾或升華,電遷移和區(qū)域熔煉。 稀土金屬棒在區(qū)域熔煉爐中以很慢的速度(如提純釔時(shí)為0.4毫米/分),進(jìn)行多次區(qū)熔,對去除鐵、鋁、鎂、銅、鎳等金屬雜質(zhì)有,上海2N金靶材,但對氧、氮、碳、氫無效。此外,電解精煉、區(qū)熔-電遷移聯(lián)合法提純稀土也有一定效果。
什么是靶材綁定?靶材綁定的適用范圍、流程?
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。
1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;
2.釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;我司采用銦焊綁定技術(shù)。
3.導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,哪里有2N金靶材,厚度在0.02-0.05um。
背靶材料:
無氧銅(OFC)– 目前常使用的作背靶的材料是無氧銅,因?yàn)闊o氧銅具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性,而且比較容易機(jī)械加工。 如果保養(yǎng)適當(dāng),2N金靶材廠家,無氧銅背靶可以重復(fù)使用10次甚至更多。
鉬(Mo)– 在某些使用條件比較特殊的情況下,如需要進(jìn)行高溫帖合的條件下,2N金靶材價(jià)格,無氧化銅容易被氧化和發(fā)生翹曲, 所以會使用金屬鉬為背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數(shù)無法與無氧銅匹配,同樣也需要使用金屬鉬作為背靶材料。
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