綁定的適用范圍
技術(shù)上來(lái)說(shuō)表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來(lái)提高濺射過(guò)程的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材:
ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;
錫、銦等軟金屬靶;
靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端:
1.熔點(diǎn)低的靶材,貴金屬靶材生產(chǎn)加工,像銦、硒等,貴金屬靶材報(bào)價(jià),金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形;
2.貴金屬靶材,一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料,建議墊一片銅片。
在儲(chǔ)存技術(shù)方面,高密度、大容量硬盤(pán)的發(fā)展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多層復(fù)合膜是如今應(yīng)用廣泛的巨磁阻薄膜結(jié)構(gòu)。磁光盤(pán)需要的TbFeCo合金靶材還在進(jìn)一步發(fā)展,用它制造的磁光盤(pán)具有存儲(chǔ)容量大,壽命長(zhǎng),可反復(fù)無(wú)接觸擦寫(xiě)的特點(diǎn)。如今開(kāi)發(fā)出來(lái)的磁光盤(pán),貴金屬靶材,具有TbFeCo/Ta和TbFeCo/Al的層復(fù)合膜結(jié)構(gòu),TbFeCo/AI結(jié)構(gòu)的Kerr旋轉(zhuǎn)角達(dá)到58,而TbFeCofFa則可以接近0.8。經(jīng)過(guò)研究發(fā)現(xiàn),低磁導(dǎo)率的靶材高交流局部放電電壓l抗電強(qiáng)度。
對(duì)圓周方向的電阻值的不均勻依然無(wú)法改善。
此外,貴金屬靶材工藝,采用連續(xù)硫化法時(shí),如果硫化時(shí)的熱傳遞沒(méi)有設(shè)法盡量達(dá)到均勻,則擠壓后的硫化速度不一致,這樣可能電阻值的不均勻程度反而大于間歇式硫化法。特別是在圓周方向上這種傾向更顯著。
采用連續(xù)硫化法時(shí),在擠壓機(jī)的擠壓筒內(nèi)的半徑方向上有非常大的剪切速度分布,這可能會(huì)影響電子導(dǎo)電性填充劑的分散。
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