特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):根據(jù)儲(chǔ)存的氣體類型設(shè)置標(biāo)牌,如“嚴(yán)禁明火”、“危險(xiǎn)”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。滅菌特種氣體可殺滅細(xì)菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用:非晶硅太陽(yáng)能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng) 化技術(shù)、精密檢測(cè),濟(jì)南特種氣體,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):高壓容器內(nèi),存有內(nèi)容物時(shí),工業(yè)特種氣體,無論內(nèi)容量多少,在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi),嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,
氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)?、?jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,特種氣體供應(yīng)商,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。包裝標(biāo)志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時(shí),特種氣體批發(fā),由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無 水,管路、閥門和容器不用時(shí)應(yīng)密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離
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