真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)真空容器內(nèi)氣體是否漏氣的設(shè)備。它的工作原理如下:首先,將真空容器密封在一個(gè)密閉的真空箱中,然后向容器內(nèi)充入一定量的氦氣。接著,打開真空箱的抽氣閥,使真空箱內(nèi)的氦氣逐漸減少,直至達(dá)到預(yù)定的真空度。此時(shí),如果容器內(nèi)存在漏氣,那么氦氣就會(huì)從容器的漏孔中泄漏出來(lái),被檢測(cè)器捕獲到。檢測(cè)器通常采用電離室或硅微傳感器等技術(shù),它們能夠檢測(cè)到泄漏出來(lái)的氦氣。當(dāng)檢測(cè)到漏氣信號(hào)時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)報(bào)警或停止真空箱的工作,以防止氣體繼續(xù)泄漏。真空箱氦檢漏系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、半導(dǎo)體、等領(lǐng)域,可以用來(lái)檢測(cè)各種真空容器、氣瓶、氣密艙等設(shè)備的氣密性。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)產(chǎn)品泄漏率的設(shè)備。其工作原理主要包括以下幾個(gè)步驟:1.首先,真空箱氦檢設(shè)備,將待測(cè)物品放入真空氣密腔內(nèi),氣密腔由被抽空的內(nèi)室和連接的管道組成;其中,在內(nèi)室的頂部裝有頂針機(jī)構(gòu),當(dāng)需要放氣時(shí)可通過(guò)控制電路打開頂針使氣體進(jìn)入大氣中排放到室外或通過(guò)冷凝回收裝置進(jìn)行收集處理。在進(jìn)氣管上還設(shè)有壓力表、電磁閥與充注等附件供操作人員在試驗(yàn)前對(duì)氣壓進(jìn)行檢查和控制以及向氣路系統(tǒng)中充入惰性保護(hù)氣體。2.然后啟動(dòng)增壓泵開始抽出測(cè)試倉(cāng)的壓力至0.5-0.6KPa(5-6mbar)左右,關(guān)閉增壓泵電源并接通試件控制系統(tǒng)電源,并將探頭安裝在密封容器的法蘭盤處。3.利用示差法判別泄露部位及大致位置尺寸;根據(jù)讀數(shù)可以判斷出泄漏率的大小。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)和測(cè)量微小泄漏的設(shè)備,主要用于航空航天、汽車制造等領(lǐng)域。它利用高純度惰性氣體——氦氣作為示蹤劑,通過(guò)收集和分析從泄釋放出來(lái)的氦氣來(lái)定位并定量測(cè)量的實(shí)際物理參數(shù)值的大小與位置。該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍廣泛且多樣化:在飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)上可以檢查油箱是否存在滲漏;對(duì)密封條橡膠制品中的缺陷及龜裂等進(jìn)行檢驗(yàn),以評(píng)價(jià)輪胎質(zhì)量的好壞等。此外,還可以用來(lái)確定真空器件或容器法蘭結(jié)合面的嚴(yán)密情況;在半導(dǎo)體行業(yè)可監(jiān)控半導(dǎo)體制程中可能出現(xiàn)的問(wèn)題等等方面有著重要的作用。
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