平時(shí)電鏡使用者都進(jìn)行常規(guī)樣品的觀察,常規(guī)樣品不像分辨率標(biāo)準(zhǔn)樣品那么理想,樣品比較復(fù)雜,而且有時(shí)候關(guān)注點(diǎn)并不相同。因此我們要根據(jù)樣品類(lèi)型以及所關(guān)注的問(wèn)題選擇合適的電鏡條件。
關(guān)注分辨率、襯度、景深、形貌的真實(shí)性、其它分析的需要等等,不同的關(guān)注點(diǎn)之間需要不同的電鏡條件,有時(shí)甚至相互矛盾。因此我們必須明確拍攝目的,尋找適合的電鏡條件,而不是貿(mào)然的追求大倍數(shù)。
電鏡的工作條件包括很多,加速電壓、束流束斑、工作距離、光闌大小、明暗對(duì)比度、探測(cè)器的選擇等。本期將為大家介紹束流束斑的選擇。
要獲得一張清晰的電鏡照片,必須要能夠做好基本的電鏡操作、以及針對(duì)各種樣品做出工作條件的優(yōu)化。
基本操作包括熟練的調(diào)節(jié)對(duì)焦和消像散。對(duì)焦相對(duì)容易,改變焦距,直至圖像清楚的時(shí)刻即為合焦。在偏離焦距較多的時(shí)候可以用較高的靈敏度,在合焦點(diǎn)附近調(diào)低靈敏度,以便進(jìn)行對(duì)焦。
基本操作中消像散相對(duì)來(lái)說(shuō)比較麻煩,特別是像散很大時(shí),對(duì)于很多初學(xué)者來(lái)說(shuō)調(diào)節(jié)比較困難。不過(guò)前面已經(jīng)介紹了像散的產(chǎn)生,電子束由于不再是圓形,所以在像散未消除的情況下,掃描電鏡技術(shù)服務(wù),圖像是不清晰的。不過(guò)其中有兩個(gè)特殊的位置,即光學(xué)中的子午和弧矢,在這兩個(gè)位置上束斑完全成正交的直線。而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。
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