氣體管道工程流量太大調(diào)不小的原因與解決辦法?
氣體管道工程在實(shí)施時(shí)難免發(fā)生大大小小的事情,如果不加以解決會影響整個工程的進(jìn)展,甚至造成更大的損失,那么呢了解氣體管道工程流量太大調(diào)不小的原因嗎,當(dāng)遇到這種問題又有哪些解決方法呢?
產(chǎn)生此類故障的原因有三種:
第i一,是流量計(jì)后氣路有泄漏;
第二,是氣路氣阻太小;
第三,是流量控制閥件損壞。
實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程
其檢查方法如下:
首先堵住檢測器的氣路出口,觀察流量計(jì)中的轉(zhuǎn)子是否可下降到零位。如不能降為零,需要考慮對漏氣處進(jìn)行檢查,具體方法見氣路泄漏的檢查與排除;如轉(zhuǎn)子可降到零位說明系統(tǒng)不漏氣。
氣體管道工程
此時(shí)應(yīng)觀察一下流量調(diào)節(jié)閥轉(zhuǎn)動時(shí),流量是否 有較大的變動,若有變動可適當(dāng)增加氣路氣阻;若無變動則應(yīng)懷疑閥件本身有問題,按照閥件的清洗部分處理。處理后的閥件應(yīng)再裝回原氣路中進(jìn)行控制試驗(yàn)。
各種氣體配管配件要求
在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小,蘇州氣體管道,其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量、露i點(diǎn)的要求也越來越高。
高純氮?dú)?PN2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,氣體管道顏色,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
氮?dú)?N2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。
高純氫氣(PH2)氫氣(H2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。(Ar):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
氦氣(He):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
特氣系統(tǒng):必要的還需做雙套管:外管酸洗鈍化(AP)處理,氣體管道材質(zhì),內(nèi)管電解拋光(EP),閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。
對于特殊氣體來講,氣體品種多,有毒有害氣體多,原來是一機(jī)臺配一氣柜,高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本,且有的還布置在工藝間內(nèi),存在著泄漏的安全隱患。現(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng),氣柜集中,自控系統(tǒng)不斷完善,其報(bào)警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟,特氣間也與工藝間隔離,并對房間有防爆要求,工作的安全性大大提高。
氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類。一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高。特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途,對不同特種氣體的純度或組成、有害雜質(zhì)允許的含量、產(chǎn)品的包裝貯運(yùn)等都有極其嚴(yán)格的要求,屬于高技術(shù),高附加值產(chǎn)品。
高純氣體(High Purity Gases),通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,氣體管道安裝,純度指標(biāo)不同,例如對于氮,氫,Ar,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對于碳?xì)浠衔?,純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。
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