氦質(zhì)譜檢漏儀的原理
氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
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氦質(zhì)譜試漏儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器.其燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩,與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,軌道半徑
R ——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑(cm) B ——磁場強(qiáng)度(T)
M/z ——離子的質(zhì)(量)/(電)荷比(正整數(shù))
U ——離子加速電壓(V)
由上式可知,當(dāng) R、B 為定值時,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。
氦氣檢漏的主要技術(shù)性能
1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng),生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計(jì),一般為平開門式、滑臺合箱式;
4.上下料采用機(jī)械手或機(jī)器人,正常生產(chǎn)時設(shè)備無需人工操作;
5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應(yīng)存儲;
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動判斷,氦質(zhì)譜測漏系統(tǒng),并對應(yīng)放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級密碼,更改設(shè)備參數(shù);
10.人機(jī)交互界面,觸摸屏實(shí)時反映運(yùn)行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù);
11.故障統(tǒng)計(jì)功能
12.系統(tǒng)采用配置和標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)制作,確保運(yùn)行穩(wěn)定,。
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