為什么會出現(xiàn)這樣奇怪的現(xiàn)象?為什么更好的分辨率卻沒有得到更真實的圖像?前面我們已經(jīng)說到,復(fù)眼透射電鏡技術(shù)服務(wù),電子束是由掃描線圈的脈沖信號控制,電子束在試樣表面并不是連續(xù)掃描,而是逐點跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大,我們會誤以為是連續(xù)掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡,那么電子束就有一定的覆蓋面積。
束斑中心的距離取決于放大倍數(shù)和采集像素大小。當束斑較大時,束斑覆蓋比較;但是當束斑減小時,束斑的覆蓋區(qū)域也越來越小,所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到,所以相應(yīng)的形貌特征也不會反映在圖像上,這就造成了信息的丟失。像上述例子,在大倍數(shù)小,束斑之間跳躍間距小,足夠覆蓋特征形貌,但是縮小倍數(shù)后,跳躍距離變大,束斑不足以覆蓋所有的特征形貌,有的線條就反映不出來。
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