流量控制單元(FSCU)
FSCU(Flow System Control Unit)是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)針對(duì)各大高校、科研院所的不同研究方向,為其量身打造的氣體、液體流量控制系統(tǒng)單元,目前大量應(yīng)用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)領(lǐng)域。
FSCU可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC軟件等上位機(jī)系統(tǒng)控制國(guó)內(nèi)外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng)、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌)及電磁截止閥開(kāi)關(guān),可以讀取氣路中壓力信號(hào)或溫度信號(hào)并進(jìn)行轉(zhuǎn)換,從而實(shí)現(xiàn)氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現(xiàn)溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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流體系統(tǒng)
流體系統(tǒng)是與具體實(shí)際管網(wǎng)模型相對(duì)應(yīng)的流動(dòng)元件集合,各個(gè)流動(dòng)元件都有實(shí)際的物理模型與之相對(duì)應(yīng)。流體介質(zhì)是流體系統(tǒng)中的流動(dòng)物質(zhì),流體介質(zhì)的狀態(tài)和屬性直接影響流體系統(tǒng)對(duì)流體介質(zhì)的輸運(yùn)能力、熱傳導(dǎo)能力及其流體的作功能力。流體系統(tǒng)是由各種流動(dòng)元件相互連接而成,流動(dòng)元件包括流體存儲(chǔ)元件、流體單向輸運(yùn)元件、流體多向輸運(yùn)元件。流體單向輸運(yùn)元件只有一個(gè)進(jìn)口和一個(gè)出口,如各種管道、流體增壓泵、氣體壓縮機(jī)等。流體多向輸運(yùn)元件主要用于分流和匯流,如三通接頭、四通接頭以及引射泵等。流體存儲(chǔ)元件一般有流體體積或質(zhì)量, 有一個(gè)或多個(gè)單向輸運(yùn)元件與之相連,其流量既可能流進(jìn),流體系統(tǒng)控制單元,也可能流出。
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體積流量的表示方法
對(duì)多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù), 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現(xiàn)。所以說(shuō),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位,流體系統(tǒng)控制單元廠家, 不符合國(guó)內(nèi)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的常用的質(zhì)量流量的國(guó)際單位(Kg/min), 但是它符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的SEMI。
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