氣體質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制;氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工,冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
質(zhì)量流量計
質(zhì)量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。
質(zhì)量流量控制器,質(zhì)量流量顯示儀哪家好, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,質(zhì)量流量顯示儀多少錢,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質(zhì)量流量顯示儀價格,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
什么情況下用質(zhì)量流量計, 什么情況下用質(zhì)量流量控制器 ?
一般而言,僅對流量進行計量或監(jiān)測時,用質(zhì)量流量計;需要對流量進行控制時,用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合,質(zhì)量流量顯示儀,用二者皆可,如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候, 用質(zhì)量流量計; 當定流測壓時, 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當質(zhì)量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。
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