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主營(yíng)：氦檢漏系統(tǒng),非標(biāo)定制氦檢漏回收系統(tǒng)
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氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)和測(cè)量氣體泄漏的設(shè)備，通常由一個(gè)或多個(gè)氣密性容器、傳感器和控制單元組成。其主要用于航空航天領(lǐng)域和其他需要高精度測(cè)量的行業(yè)。主要功能包括：首先是可以確定被測(cè)物體的泄露量；其次可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄測(cè)試數(shù)據(jù)以備查詢歷史數(shù)據(jù)的方便快捷操作界面設(shè)計(jì)；是可以通過(guò)對(duì)壓力信號(hào)的分析處理來(lái)確定密封容器的質(zhì)量狀態(tài)及生產(chǎn)過(guò)程中影響產(chǎn)品質(zhì)量的各種因素.通過(guò)對(duì)這些參數(shù)的變化進(jìn)行分析判斷出產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，并及時(shí)發(fā)出報(bào)警提示操作者作出相應(yīng)的調(diào)整措施或者直接把有問(wèn)題的零件篩選出來(lái)從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量和合格率達(dá)到100%.
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機(jī)、進(jìn)氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測(cè)器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動(dòng)的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測(cè)區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會(huì)從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)，從而產(chǎn)生聲學(xué)信號(hào)或者叫作粒子束，通過(guò)測(cè)量這個(gè)聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對(duì)各種材料均不敏感而且對(duì)于很小的體積也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)定，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測(cè)以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個(gè)密封件是否有缺陷。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對(duì)電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。當(dāng)需要檢查的對(duì)象內(nèi)部存在微小壓力時(shí)，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過(guò)管道進(jìn)入待測(cè)對(duì)象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時(shí)可以通過(guò)測(cè)量總釋放量Ra來(lái)判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時(shí)則認(rèn)為發(fā)生了泄露[1]。
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