氣體質量流量控制器的零點漂移?
微小的零點漂移是不會影響傳感器的測量精度和數(shù)值的,但是如果是零點漂移較大或用戶在使用時,氣體流量控制器哪家好,對零點漂移的數(shù)值有疑問,那么這時候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質量流量控制器和流量計會有零點漂移情況,零點漂移也就是管道中已經沒有介質流動但質量流量計仍顯示流量值。如果是零點出現(xiàn)大幅漂移,氣體流量控制器公司,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開各種閥門,氣體流量控制器,全部排空氣體管路,防止設備或管路憋壓。
一般造成質量流量計零點漂移的因素有許多,解決質量流量計零漂問題,首先要定期進行零點檢查和調整,氣體流量控制器報價,二是需要和工藝配合來解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質微量流動也會導致質量流量控制器/質量流量計的零點漂移,出現(xiàn)這種漂移時,要關閉流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來使用),使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口,消除管道內的壓力和氣流,從而達到消除零點漂移。
氣體質量流量控制器應用領域
氣體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產并在其中起著重要的作用。典型的應用場合包括微電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
氣體質量流量控制器流速和流量之間的關系
流量通常分為體積流量、質量流量和重量流量三種:
體積流量的公式為Q=VS,Q代表氣體的體積流量(m/s),V代表氣體的平均流速(m/s),S代表氣路管道的橫截面積(㎡)。
質量流量則是M=ρQ=ρVS,M代表氣體的質量流量(kg/s),ρ代表氣體的密度(kg/m),Q代表氣體的體積流量(m/s)。
重量流量則是G=γQ=ρgVS=gM,G代表氣體的重量流量(kgf/s),γ代表氣體的介質重度(N/㎡),M代表氣體的質量流量(kg/s)。
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