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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話 進(jìn)口分子泵維修電話

軸承、減震維護(hù)?隨著分子泵使用時間延長,分子泵軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中受到的磨損越來越嚴(yán)重,減震系統(tǒng)的減震能力越來越差,到一定程度后必須進(jìn)行更換,否則可能出現(xiàn)更大程度的損壞。判斷標(biāo)準(zhǔn):分子泵的振動突然增大,聲音出現(xiàn)異常;分子泵啟動時間增長或無法達(dá)到正常轉(zhuǎn)速。判斷標(biāo)準(zhǔn):分子泵的振動突然增大,聲音出現(xiàn)異常;分子泵啟動時間增長或無法達(dá)到正常轉(zhuǎn)速。進(jìn)口分子泵維修電話

由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好,因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計(jì)。渦輪分子泵的極限真空度能達(dá)到10-8Pa的數(shù)量級,抽速可以達(dá)到1000L/s,達(dá)到大抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間,因此在使用時要以旋片機(jī)械泵作為其前級泵。進(jìn)口分子泵維修電話

清洗??分子泵使用一定時間后,在系統(tǒng)漏率和系統(tǒng)衛(wèi)生沒有變化的情況下,真空性能下真空性能下降很多,阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話,甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時應(yīng)對泵進(jìn)行清洗。?注意!!?分子泵如果污染嚴(yán)重,則必須完全拆開,由技術(shù)人員處理。嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)和真空性能下降很多,甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時應(yīng)對泵進(jìn)行清洗。授權(quán)的人員私自拆泵。進(jìn)口分子泵維修電話

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話  磁懸浮渦輪分子泵維修

含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導(dǎo)體制造設(shè)備,在集成電路刻蝕等工藝過程中,部分工藝氣體容易冷卻凝結(jié),附著在分子泵轉(zhuǎn)子及內(nèi)壁,造成分子泵轉(zhuǎn)子不平衡量增大或抽氣通道阻塞,影響分子泵的穩(wěn)定運(yùn)行。加上加熱模塊可以適當(dāng)提高泵體溫度,降低工藝氣體凝結(jié),提高分子泵穩(wěn)定性及壽命。   磁懸浮渦輪分子泵維修

我們所稱呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導(dǎo)入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進(jìn)行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊,它會從電子層脫出。結(jié) 果,帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導(dǎo)入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修

分子泵的工作區(qū)間是有限制的,*大啟動壓強(qiáng)也要在100pa,直接大氣啟動只會長期處于過載狀態(tài)運(yùn)行,并無抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話 阿爾卡特進(jìn)口泵維修

羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。阿爾卡特進(jìn)口泵維修

它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸,

采用機(jī)械方法周期性地改變泵內(nèi)吸氣空腔的容積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空的泵稱旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵。改變吸氣空腔的方式有水環(huán)式、滑閥式和旋片式等,這里先敘述旋片式機(jī)械真空泵。阿爾卡特進(jìn)口泵維修

轉(zhuǎn)動泵又稱為容積壓縮泵。它的原理是利用機(jī)械方法使一個工作室的體積周期性地?cái)U(kuò)大和縮小以達(dá)到抽氣目的。它是一種前級泵,一般在工作室容積*小時和抽氣管的入口接通,于是氣體就進(jìn)入工作室,直到工作室容積*大并重新與抽氣管隔斷的時候才停止; 以后工作室容積逐漸變小,氣體就被壓縮,直到壓強(qiáng)大于1大氣壓時排氣閥就打開而驅(qū)出氣體。阿爾卡特進(jìn)口泵維修

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