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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發(fā)展起來的，它作為第三代太陽能電池的阻擋層是佳選擇。
由于 W-Ti 系列薄膜具有非常優(yōu)良的性能，近幾年來應(yīng)用量急劇增加，2008年W-Ti 靶材世界用量已達到400t，朝陽純鈀靶材，隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，這種靶材的需求量會越來越大。具行業(yè)預(yù)測其用量還會有很大的增加。國際太陽能電池市場以的速度增長，目前世界有30 多公司參與太陽能市場的進一步開發(fā)， 并已有的公司產(chǎn)品投入市場。
各種類型的濺射薄膜材料在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀90年代以來，濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展，純鈀靶材廠家，極大地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如，在半導(dǎo)體集成電路制造過程中，以電阻率較低的銅導(dǎo)體薄膜代替鋁膜布線：在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中，各種顯示技術(shù)(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步發(fā)展，有的已經(jīng)用于電腦及計算機的顯示器制造；在信息存儲產(chǎn)業(yè)中，磁性存儲器的存儲容量不斷增加，新的磁光記錄材料不斷推陳出新這些都對所需濺射靶材的質(zhì)量提出了越來越高的要求，需求數(shù)量也逐年增加。
但是靶材制作困難，純鈀靶材技術(shù)，這是因為氧化銦不容易燒結(jié)在一起。一般采用ZrO2、Bi2O3、CeO等作為燒結(jié)添加劑，能夠獲得密度為理論值的93%~98%的靶材，這種方式形成的ITO薄膜的性能與添加劑的關(guān)系極大。日本的科學(xué)家采用Bizo作為添加劑，Bi2O3在820Cr熔化，在l500℃的燒結(jié)溫度超出部分已經(jīng)揮發(fā)，這樣能夠在液相燒結(jié)條件下得到比較純的ITO靶材。而且所需要的氧化物原料也不一定是納米顆粒，這樣可以簡化前期的工序。
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第8年
