氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體,質(zhì)量控制器報(bào)價(jià), 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合,質(zhì)量控制器公司, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠,質(zhì)量控制器, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。
氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么?
(1) 流量的測(cè)量和操縱不因溫度或負(fù)載的變化而產(chǎn)生誤差。 針對(duì)大部分流量控制系統(tǒng)來講,難以防止系統(tǒng)的工作壓力起伏及自然環(huán)境和物質(zhì)的溫度轉(zhuǎn)變。針對(duì)一般的流量計(jì),工作壓力及溫度的起伏將造成很大的偏差;針對(duì)質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器,質(zhì)量控制器廠家,則一般可以忽略。
(2) 測(cè)量操縱的自動(dòng)化技術(shù) 質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以規(guī)范電子信號(hào)輸出。那樣非常容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)據(jù)顯示﹑積累流量﹑數(shù)據(jù)信息自動(dòng)保存﹑電腦管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器來講,還能夠完成流量的自動(dòng)控制系統(tǒng)。通常, 模擬的MFC/MFM數(shù)據(jù)信號(hào)為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還裝有RS232或RS485數(shù)據(jù)串行通信通信口, 能十分便捷地與電腦聯(lián)接, 開展自動(dòng)控制系統(tǒng)。
(3) 定量操縱流量 質(zhì)量流量控制器可以控制汽體的給定量,這對(duì)許多加工工藝全過程的流量操縱﹑針對(duì)不一樣汽體的控制算法等尤其有效。
(4) 應(yīng)用領(lǐng)域?qū)?有很寬的壓力范疇,可以適用真空環(huán)境和高壓環(huán)境; 可以適用多種氣體(包含一些腐蝕汽體,如HCL)
如何通過質(zhì)量流量控制器判斷有沒有氣體通過?
可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端,然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里,如果軟管口有氣泡冒出,證明MFC是有氣體通過的,不過需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內(nèi),也可以用手將出氣口堵死,觀察瞬時(shí)流量是否有下降,如果有下降,也證明有氣體通過,此時(shí)堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。
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