曝光操作步驟
1、安裝硅片:將待曝光硅片平放在設(shè)備的載臺上,確保位置準確。
2、放置光刻板:將光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平穩(wěn)。
3、設(shè)定曝光參數(shù):使用控制面板設(shè)置曝光時間和強度,根據(jù)具體需求進行調(diào)整。
4、啟動曝光:確認參數(shù)設(shè)定無誤后,點擊啟動按鈕,設(shè)備將開始進行曝光。
5、監(jiān)控曝光過程:在曝光過程中,SU8模具加工設(shè)備作用,您可以通過設(shè)備界面監(jiān)控曝光進度,確保一切順利進行。
6、曝光完成:曝光結(jié)束后,山東SU8模具加工設(shè)備,設(shè)備會發(fā)出提示,取出硅片和光刻板。
技術(shù)參數(shù)
曝光光源:紫外LED光源波長:365nm;
曝光面積:4英寸、6英寸可選;
曝光方式:單面接觸式定時曝光;
曝光分辨率:2um;
曝光強度:20~200mW/cm2可調(diào);
曝光不均勻性:≤5%;
光源平行性:≤2°;
光源壽命:≥20000h;
電源輸入:AC220V±10V,50HZ
功率:250W
重量:25kg
外形尺寸:382(長)*371(寬)*435(高)
工作環(huán)境:溫度0℃-40 ℃,相對濕度<80 %
頂旭(蘇州)微控技術(shù)有限公司是一家專注于微流控領(lǐng)域的高科技企業(yè),我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備、以及微流控儀器等quan面的微流控解決方案。公司團隊擁有豐富的經(jīng)驗和技術(shù)積累,持續(xù)將專ye知識與創(chuàng)新思維相結(jié)合,SU8模具加工設(shè)備怎么樣,為客戶提供高pin質(zhì)的解決方案。
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