阜新金電解槽設(shè)計(jì)-金電解槽設(shè)計(jì)廠家-東創(chuàng)貴金屬(推薦商家)

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沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司

主營(yíng)業(yè)務(wù)：貴金屬材料
公司官網(wǎng)：www.dcgjs.cn
公司地址：沈陽(yáng)市沈河區(qū)文化東路89號(hào)

業(yè)務(wù)熱線： 13898123309 (趙總先生)

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包裝說(shuō)明 : 不限
物流說(shuō)明 : 貨運(yùn)及物流
交貨說(shuō)明 : 按訂單

導(dǎo)電輥包括導(dǎo)電輥的外層由至少部分導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成、內(nèi)層由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電層以外的橡膠等構(gòu)成的雙層導(dǎo)電輥，以及與上述相反的外層由離子導(dǎo)電性聚合物賦予導(dǎo)電性的導(dǎo)電層以外的橡膠等構(gòu)成、內(nèi)層由至少部分導(dǎo)電性由離子導(dǎo)電性聚合物的組合物賦予的導(dǎo)電性橡膠組合物構(gòu)成的雙層導(dǎo)電輥。

而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝，所需要的靶材純度將要求達(dá)到5甚至6N以上。銅與鋁相比較，銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率，能夠滿足！導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問(wèn)題：銅與有機(jī)介質(zhì)材料的附著強(qiáng)度低．并且容易發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致在使用過(guò)程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。

為了解決以上這些問(wèn)題，阜新金電解槽設(shè)計(jì)，需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點(diǎn)、高電阻率的金屬及其化合物，因此要求阻擋層厚度小于50nm，與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的．需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對(duì)困難，如今正在研究鉬、鉻等的臺(tái)金作為替代材料。

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