退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋該诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。
物料的干燥速率取決于表面汽化速率和內(nèi)部濕分的擴散速率。通常干燥前期的干燥速率受表面汽化速率控制;而后,只要干燥的外部條件不變,物料的干燥速率和表面溫度即保持穩(wěn)定,這個階段稱為恒速干燥階段;當(dāng)物料濕含量降低到某一程度,內(nèi)部濕分向表面的擴散速率降低,并小于表面汽化速率時,干燥速率即主要由內(nèi)部擴散速率決定,并隨濕含量的降低而不斷降低,這個階段稱為降速干燥階段。
第三,在對烘箱使用時,對里邊放置的物件中間應(yīng)當(dāng)有一定的間距,它是為了物件在加工時有個更好地加溫功效,此外對于排熱板上不必儲放任何東西,它是為了維持烘箱里的氣流通暢。此外,對于烘箱的可用溫度要掌握好。
終,為了維持烘箱有個很好的衛(wèi)生環(huán)境,當(dāng)烘箱運作完畢后,應(yīng)當(dāng)馬上對烘箱內(nèi)的殘留物件進行及時的清除。
高溫烘箱小知識:
1特性:
高溫烘箱,通過有效的設(shè)計和不斷的實驗,促使高溫下溫度勻稱性獲得了很好的操縱,大大提高了產(chǎn)品的可靠性和實用性。
2、溫度
客戶根據(jù)自身產(chǎn)品的特點,測算好具體使用的溫度規(guī)定,以確??局频男ЧEe例:1如果客戶所烘產(chǎn)品使用單一溫度段,資詢時要注重表明。2如果使用溫度是階梯式提溫的,舉例需5段,段用三十分鐘從常溫下~100度,然后保溫20分種;再從100度,用40分鐘升溫到300度,再保溫多久再提溫,依此類推。操縱上采用可控硅。
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