半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因
1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,壓縮機(jī)氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間,耗時耗力;
2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會對晶元造成污染,對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;
3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,鑄件氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。
4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,避雷器氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢,芯片就會失效。
空調(diào)檢漏設(shè)備
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主要應(yīng)用于家用空調(diào)冷凝器、蒸發(fā)器、壓縮機(jī)、截止閥和冰箱、冷柜、雪融機(jī)等制冷行業(yè)產(chǎn)品,大部分采用多工位設(shè)置、箱外充氦、箱內(nèi)檢測的方式。
技術(shù)參數(shù)參考
檢測精度:冷媒2克/年;
檢測節(jié)拍:多箱聯(lián)動 20S~60S/箱
真空箱內(nèi)腔尺寸:根據(jù)被檢工件外形及尺寸定制;
抽空充氦方式:真空箱外抽空充氦;
開門方式:斜提拉式/抽屜式/垂直提拉式;
氦氣回收率:98%;
控制方式:PLC控制,觸摸屏操作;
自動化程度:人工連接工件后,啟動設(shè)備后,各工位自動判別、自動檢測;
安全保護(hù):光柵保護(hù)、電氣互鎖保護(hù)、層級密碼控制、聲光報警
主要配置:關(guān)鍵元器件全部進(jìn)口品牌
氦氣檢漏的主要技術(shù)性能
1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng),北京氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢,生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計,一般為平開門式、滑臺合箱式;
4.上下料采用機(jī)械手或機(jī)器人,正常生產(chǎn)時設(shè)備無需人工操作;
5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應(yīng)存儲;
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動判斷,并對應(yīng)放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級密碼,更改設(shè)備參數(shù);
10.人機(jī)交互界面,觸摸屏實(shí)時反映運(yùn)行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù);
11.故障統(tǒng)計功能
12.系統(tǒng)采用配置和標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計制作,確保運(yùn)行穩(wěn)定。
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