真空設(shè)備檢漏
聽音法
氣體從小孔中噴出時(shí),會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大,則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi,某種程度上可以消除周圍噪音的影響,聽清泄漏聲音,但有時(shí)與泄漏無關(guān)的聲音(例如電機(jī)的聲音)也會(huì)混雜進(jìn)來,從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音,可用話筒和放大器將聲音放大。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大,多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa,周圍非常安靜的條件下,可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽診qi,在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽,往往因聲波的反射或吸收,很難確定泄漏點(diǎn),即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同,所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此,這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),高壓柜氦測(cè)漏設(shè)備,要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?/p>
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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氦質(zhì)譜檢漏儀:
1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。
2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個(gè)縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時(shí)本底信號(hào)小。
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