貼合式兆聲清洗頭概述
槽式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于其兆聲換能器面積較大,可以大面積輻射兆聲聲場(chǎng),從而更的進(jìn)行清洗。但缺點(diǎn)是兆聲聲場(chǎng)在水槽中分布不均勻,距離換能器越遠(yuǎn)聲強(qiáng)越弱,兆聲波清洗設(shè)備哪家好,同時(shí)聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)在于可直接將兆聲能量聚焦在清洗物表面,從而可通過運(yùn)動(dòng)清洗物和噴頭實(shí)現(xiàn)清洗物表面均勻的聲場(chǎng)分布,且聲能傳遞效率較高。但噴淋式需要較大的清洗液流量,兆聲波清洗設(shè)備價(jià)格,對(duì)清洗液浪費(fèi)較大,并且噴淋式兆聲換能器面積較小,從而聲能輻射面積較小,清洗速度較慢。
貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式和噴淋式兩種兆聲清洗的優(yōu)點(diǎn)并摒棄了二者缺點(diǎn)的更優(yōu)化的兆聲清洗技術(shù)。它可以以相對(duì)大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面,具有非常高的傳遞效率和聲場(chǎng)均勻性,同時(shí)非常節(jié)省清洗液。
超聲波清洗流程
一般來說,清洗的工藝流程依被清洗物體清洗的難易程度及清洗數(shù)量而決定。主要清洗流程如下:1)熱浸洗或噴洗:目的是將工件上的污染物軟化、分離、溶解,并減輕下道清洗工序的負(fù)荷。2)超聲波清洗:利用超聲波產(chǎn)生的強(qiáng)烈空化作用及振動(dòng)將工件表面的污垢剝離脫落,湖北兆聲波清洗設(shè)備,同時(shí)還可將油脂性的污物分解、乳化。3)冷漂洗:利用流動(dòng)的凈水將已脫落但尚浮在工件表面上污物沖洗干凈。4)超聲波漂洗:溶劑為干凈的清水,兆聲波清洗設(shè)備報(bào)價(jià),工件浸入后,利用超聲波將浮在工件各邊、角及孔隙處的污物清洗干凈。5)熱凈水及冷凈水漂洗:進(jìn)一步去除懸附在工件表面上的污物微粒。6)熱風(fēng)烘干:利用一定的溫度和風(fēng)速,使零件表面快速干燥。
噴淋式兆聲噴頭產(chǎn)品概述
兆聲清洗是利用兆赫茲級(jí)別的超高頻超聲波能量去進(jìn)行基材表面亞微米級(jí)顆粒的去除以及化學(xué)反應(yīng)。相比于低頻超聲波空化效應(yīng),兆聲波空化效應(yīng)可清楚更小的顆粒并且大幅降低對(duì)基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于CMP化學(xué)機(jī)械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。 Siansonic(東方金榮)噴淋式兆聲清洗噴頭的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)單點(diǎn)噴淋式兆聲清洗,相比傳統(tǒng)槽式清洗,可解決清洗液二次污染問題。極低的超聲空化效應(yīng),不會(huì)對(duì)器件表面造成損傷超高清洗精度,可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì),適應(yīng)各種酸堿及石英或藍(lán)寶石匹配層技術(shù),無雜質(zhì)脫落到器件上的風(fēng)險(xiǎn)的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導(dǎo)體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動(dòng)。
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