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性能指標(biāo)H2 壓縮比1.5 x 106前級(jí)管道法蘭尺寸KF 16 NW前級(jí)耐壓 — N212 mbar啟動(dòng)時(shí)間< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建議采用的前級(jí)泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s氣體通量 — N2、水冷250 sccm極限真空<1 x 10-10 mbar標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

機(jī)械指令 2006/42/EC

電磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法蘭類型DN 100DN 160貯存環(huán)境溫度-40 至 +70 °C運(yùn)行環(huán)境溫度+5 to +35 °C重量5.84 kg額定轉(zhuǎn)速60 KRPM

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為了確認(rèn)磁場(chǎng)對(duì)分子泵工作的影響，德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）設(shè)計(jì)并執(zhí)行了下面的測(cè)試：

測(cè)試條件和裝置

被測(cè)分子泵的型號(hào)為 TwisTorr304 FS CFF6，使用一對(duì)亥姆霍茲線圈(直徑 120 厘米)來產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。

被測(cè)分子泵由一臺(tái)渦旋干泵作為前級(jí)，分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至 1E-3 mbar 以下（該壓力以下，熱對(duì)流幾乎為零，分子泵轉(zhuǎn)子的熱量?jī)H可以通過輻射傳遞出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷卻水對(duì)分子泵持續(xù)進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會(huì)自動(dòng)調(diào)整電機(jī)電流，保持轉(zhuǎn)子以恒定轉(zhuǎn)速運(yùn)行。使用安裝于分子泵口的紅外溫度計(jì)測(cè)量被測(cè)試分子泵的轉(zhuǎn)子溫度。使用連接到分子泵外殼的 PT100 熱電阻測(cè)量定子的溫度。

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安捷倫 AFS 懸浮軸承系統(tǒng)，采用特殊的彈性材料隔離轉(zhuǎn)子與泵體，安捷倫進(jìn)口分子泵保養(yǎng)多少錢，避免轉(zhuǎn)子和軸承受到從泵體傳來的沖擊；并且由于彈性材料的阻尼效應(yīng)，可以吸收各種振動(dòng)的能量，降低整泵的噪音和振動(dòng)。

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安捷倫的分子泵設(shè)計(jì)是免日常維護(hù)的。由于工藝環(huán)境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經(jīng)工作了很長(zhǎng)時(shí)間（5年以上），或者出現(xiàn)了噪音、溫度、功率異常，及時(shí)的對(duì)其進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)可以大大延長(zhǎng)其使用壽命。

安捷倫渦旋式干泵采用兩個(gè)渦旋盤復(fù)合成的機(jī)械結(jié)構(gòu)，由一個(gè)渦旋嵌入另一個(gè)渦旋并轉(zhuǎn)動(dòng)來捕集氣體。進(jìn)入渦旋槽內(nèi)的氣體被移動(dòng)壓縮到渦旋的中信并被排出。渦旋式干泵具有噪音低，震動(dòng)小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行穩(wěn)定，維護(hù)間隔周期長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，而且不易發(fā)生可能引起災(zāi)難性后果的突發(fā)的故障。