氣體質(zhì)量流量單位
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1,氣體流量控制模塊, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2,氣體流量控制模塊多少錢, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào); 3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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流體系統(tǒng)
流體系統(tǒng)是流體機(jī)械的重要組成部分;在機(jī)械工程領(lǐng)域,流體系統(tǒng)是指與一維流體管網(wǎng)相關(guān)的元件及流體的集合,流體系統(tǒng)一般包括閥、液體泵(或氣體壓縮機(jī))、管道、接頭、孔和噴嘴等元件,也可能包括一些不規(guī)則形狀的腔室和通道。在航空領(lǐng)域,典型的流體系統(tǒng)有飛機(jī)燃油系統(tǒng)、冷卻潤(rùn)滑系統(tǒng)、防冰及除冰系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)滑油系統(tǒng)及冷卻系統(tǒng)等,這些系統(tǒng)無一不關(guān)乎著飛機(jī)及飛行員的的安全 。
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