質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點:1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 3, 要在MFC氣路前面加減壓閥,流體系統(tǒng)控制單元, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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流體控制
流體控制是利用流體的各種控制元件(各種泵、閥門、油缸)及液壓系統(tǒng)附件(過濾器、管路接頭、液位計、壓力儀表等),組成控制閉式回路,以進行自動控制。
液壓控制 液壓控制用油液作為工作介質(zhì),故能把由于功率的損耗而產(chǎn)生的熱量,從發(fā)生的地方帶到別處,這樣在一定的功率情況下,可以大大減小部件的尺寸;從負(fù)載的影響看,流體系統(tǒng)控制單元報價,液壓系統(tǒng)具有機械上的剛性,用在閉環(huán)系統(tǒng)中,定位剛度較大,位置誤差較小;與機械機構(gòu)相比,液壓執(zhí)行器的響應(yīng)速度較高,能高速啟動、制動與反向,流體系統(tǒng)控制單元公司,同時其力矩—慣量比也較大,因而其加速能力較強;液壓傳動易實現(xiàn)無級調(diào)速,具有自身潤滑等優(yōu)點。
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氣體質(zhì)量流量單位
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
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