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什么是氣體質(zhì)量流量控制器？
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。
質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶可按照需求設(shè)定流量，MFC會自動地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變，也不會使其偏移設(shè)定值。簡易地說，質(zhì)量流量控制器可以看成是一個穩(wěn)流設(shè)備， 是一個可以手動式設(shè)置或與電子計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。
氣體質(zhì)量流量控制器工作原理
氣體進入進氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，其中很小一部門進入傳感器內(nèi)部的毛細鋼管。因為分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，質(zhì)量流量廠家，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。
氣體質(zhì)量流量控制器的零點漂移？
微小的零點漂移是不會影響傳感器的測量精度和數(shù)值的，質(zhì)量流量多少錢，但是如果是零點漂移較大或用戶在使用時，對零點漂移的數(shù)值有疑問，那么這時候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會有零點漂移情況，零點漂移也就是管道中已經(jīng)沒有介質(zhì)流動但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點出現(xiàn)大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開各種閥門，全部排空氣體管路，防止設(shè)備或管路憋壓。
一般造成質(zhì)量流量計零點漂移的因素有許多，解決質(zhì)量流量計零漂問題，首先要定期進行零點檢查和調(diào)整，二是需要和工藝配合來解決。一般情況下，質(zhì)量流量，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動也會導(dǎo)致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點漂移，質(zhì)量流量報價，出現(xiàn)這種漂移時，要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥（流量控制器不能當做截止閥來使用），使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設(shè)置排氣口，消除管道內(nèi)的壓力和氣流，從而達到消除零點漂移。
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