高純六氟化硫
用途:在半導體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源,不會產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品;
變壓器中的絕緣介質(zhì);
金屬冶煉中的保護氣氛;
六氟化硫斷路器、互導傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體
電子級高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體,廣泛應用于微電子技術(shù)領(lǐng)域
作為光導纖維制造中的單膜光纖隔離層摻雜劑
作為大氣污染監(jiān)測和水文地質(zhì)檢測領(lǐng)域的示蹤劑
肝i臟腫i瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途
Ne
儲運
1.運輸注意事項:無腐蝕性,可使用通用材料.對液Ar可使用奧氏體不銹鋼。Ar一般用玻璃瓶或鋼瓶貯裝。在貯運過程中應輕裝輕卸,嚴防容器碰損。液Ar產(chǎn)量小,可以采用類似于小型液氮屏型的液氦容器貯存和運輸。采用此類容器時,其內(nèi)容的支撐必須補強,以適應液Ar較大的密度。
2.儲存注意事項:庫房通風低溫干燥; 輕裝輕卸。
(D2)
包裝:采用44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到2-8L的氣瓶中。
用途:在半導體、平板顯示器、太陽能電池等電子行業(yè)在硅燒結(jié)或退火工藝中置換氫;應用于核子融合反應。
理化性質(zhì): D2是普通氫較重的穩(wěn)定同位素。它是無色、無味、無毒的可燃氣體。其沸點為-249.5℃。與分子氫一樣,雙原子D2分子也存在正、仲同分異構(gòu)現(xiàn)象。室溫下,D2正-仲異構(gòu)體混合物的平衡組成為2:1,特種氣體檢測,這種D2稱為常態(tài)D2。降低溫度,有利于向正D2轉(zhuǎn)化。在20.4K時,平衡混合物含正D297.8%,特種氣體行業(yè),此時的D2稱為平衡D2。
注意事項:
儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不超過30℃,江蘇特種氣體,相對濕度不超過80%。應與氧化劑、鹵素分開存放,特種氣體用途,切忌混儲。采用防爆型照明、通風設(shè)施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設(shè)備和工具。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設(shè)備。
密閉操作,加強通風。操作人員必須經(jīng)過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員穿防靜電工作服。遠離火種、熱源,工作場所嚴禁吸煙。使用防爆型的通風系統(tǒng)和設(shè)備。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑、鹵素接觸。在傳送過程中,鋼瓶和容器必須接地和跨接,防止產(chǎn)生靜電。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備相應品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應急處理設(shè)備。
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