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開封機-特斯特-芯片開封機

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微光顯微鏡是一種用于材料科學領域的分析儀器,于2016年04月16日啟用。前部照明的1.4兆像素增強型近紅外相機; 珀爾貼風冷到 -45攝氏度 可捕更廣范圍波長的近紅外光顯微鏡 軟件控制5波段照明。主要功能編輯 語音l 柵氧化層漏電l p-n 結漏電l 熱電子效應l CMOS閂鎖效應l EOS/ESD 損傷l 飽和MOS器件l 模擬MOSFETs。

EMMI微光顯微鏡

微光顯微鏡(Emission Microscope,芯片開封機, EMMI)是常用漏電流路徑分析手段。對于故障分析而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中,開封機,EHP(Electron Hole Pairs)Recombination會放出光子(Photon)。如在P-N結加偏壓,此時N阱的電子很容易擴散到P阱,激光開封機,而P的空穴也容易擴散至N,然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination。在故障點定位、尋找近紅外波段發(fā)光點等方面,微光顯微鏡可分析P-N接面漏電;P-N接面崩潰;飽和區(qū)晶體管的熱電子;氧化層漏電生的光子激發(fā);Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題.

微光顯微鏡偵測得到亮點之情況:會產(chǎn)生亮點的缺陷 - 漏電結(Junction Leakage); 接觸毛刺(Contact spiking); (熱電子效應)Hot electr;閂鎖效應( Latch-Up);氧化層漏電( Gate oxide defects / Leakage(F-N current));多晶硅晶須(Poly-silicon filaments); 襯底損傷(Substrate damage); (物理損傷)Mechanical damage等。原來就會有的亮點 - Saturated/ Active bipolar transistors; -Saturated MOS/Dynamic CMOS; Forward biased diodes/Reverse;biased diodes(break down) 等。

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