智能質(zhì)量控制器多少錢(qián)-智能質(zhì)量控制器-曉韜科技有限公司

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通訊方式的熱式氣體質(zhì)量流量控制器

在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，智能質(zhì)量控制器廠(chǎng)家，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測(cè)定流量。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，智能質(zhì)量控制器，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，智能質(zhì)量控制器多少錢(qián)，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa，若壓差小于0.1 MPa，有可能操控流量達(dá)不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa，有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣。客戶(hù)應(yīng)用MFC時(shí)，無(wú)論客戶(hù)工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)，都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)，而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí)，智能質(zhì)量控制器價(jià)格，需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤，造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高，通常要求不高的場(chǎng)合，均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明， MFC都采用氟橡膠密封，可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體，例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體，需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠，如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

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