凈化工程是控制產(chǎn)品(如硅片)接觸的空氣的清潔度、溫度和濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造。這種環(huán)境空間的設(shè)計和施工過程可稱為凈化工程。
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
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