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主營：氣體,特種氣體
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工業(yè)上，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多，大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大，北京特種氣體，但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小，特種氣體廠家，但根據(jù)不同的用途。特種氣體興起于60年代中期，作為基礎(chǔ)化工材料，特種氣體有哪些，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進步以滿足純度的要求。
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。
特種氣體指半導體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，特種氣體公司，也就是氣體類別中的電子氣體，特種氣體種類：電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
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第7年
