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氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場合包括微電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?
氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa，氣體質(zhì)量流量控制器， 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過，氣體質(zhì)量流量控制器報價，即電磁閥漏氣?？蛻魬?yīng)用MFC時， 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。
什么是氣體質(zhì)量流量控制器？
氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。
質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計的作用，氣體質(zhì)量流量控制器廠家，更主要的是，它能控制氣體流量，即客戶可按照需求設(shè)定流量，MFC會自動地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變，氣體質(zhì)量流量控制器哪家好，也不會使其偏移設(shè)定值。簡易地說，質(zhì)量流量控制器可以看成是一個穩(wěn)流設(shè)備， 是一個可以手動式設(shè)置或與電子計算機(jī)連接自動控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。
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第6年
