使用氣體質(zhì)量流量控制器注意事項
1.怕粉塵, 若粉塵進到氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部會阻塞傳感器和分流器,空氣流量控制器, 導致數(shù)據(jù)誤差, 所以建議在MFC進氣口前加裝過濾裝置;
2.怕液體和油漬進到MFC, 一旦有液體進入到MFC內(nèi)部會導致無法控制,所以建議在MFC進氣口前端還要加裝干燥裝置, 假如MFC的出口接有液體罐, 也要在MFC出口再加上單向閥, 避免液體流回;
3.怕應用濕冷的腐蝕性氣體,空氣流量控制器公司, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 導致MFC通道毀壞, 因而在應用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統(tǒng)開展烘干解決;,并且在通腐蝕性氣體前要檢查管路的氣密性,空氣流量控制器多少錢,還要使用惰性氣體對管路進行吹掃,然后再通腐蝕性氣體,等MFC工作結(jié)束后還要使用惰性氣體再次吹掃一遍管路,保證管路中不會殘存腐蝕性氣體。
4.怕在應用強腐蝕性、有毒有害及yiranyibao氣體時不按安全性標準實際操作, 這樣有可能導致人身及商品毀壞和其他明顯的損害。
5.使用MFC前還需要將MFC進行通電預熱,保證MFC在不通氣時,瞬時流量處于0的位置,如果不通氣時,瞬時流量顯示有一定的數(shù)值,表示傳感器出現(xiàn)“零漂”現(xiàn)象,可以先對MFC進行調(diào)零處理,否則將影響MFC的精度。
氣體質(zhì)量流量控制器應用領域
氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密的測量和控制。其廣泛應用于半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應用場合包括微電子工藝設備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
氣體質(zhì)量流量控制器對于氣體的要求
1,氣體必須潔凈且沒有顆粒物, 沒有液體, 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。
2,空氣流量控制器廠家,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準, 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。
3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效,還容易產(chǎn)生危險。
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