潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,百級無塵車間,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。凈化車間根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,為若干等級,常用的有和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準。
凈化工程的關(guān)鍵是設計,工程設計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟性。潔凈室施工涉及裝飾、暖通、電氣和氣體等,施工人員須對潔凈室施工規(guī)范、施工工藝、施工質(zhì)量有認識,否則,施工質(zhì)量很難得到保障?,F(xiàn)在國內(nèi)的相關(guān)企業(yè)很多,所以凈化工程企業(yè)之間的競爭也很激烈,因為科技的發(fā)展使得市場對凈化工程的要求高了起來,從以前的價格競爭變成了現(xiàn)在的價值競爭。所以相關(guān)的凈化工程企業(yè)應該提高自身的自主研發(fā)能力,不斷的發(fā)展創(chuàng)新,才能適應這個競爭激烈的市場。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。一般潔凈室高度控制在2.60米,對個別較高的設備可在局部加高,而不宜提高潔凈區(qū)的高度。凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用空氣過濾器三級過濾。車間凈化工程可以細分為很多方面,每一方面的標準達到了,車間凈化工程才算是成功的。
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