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滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強、殺菌譜廣，特種氣體生產(chǎn)廠家，對物品損害輕微等優(yōu)點，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達國家相比，尚有較大差距；電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料，被廣泛的應用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。
特種氣體分類：標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，特種氣體， 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領域的需求，特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，特種氣體公司，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質(zhì)之一，故又稱為氣體標準物質(zhì)。特種氣體在集成電路領域的應用：特種氣體是半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導體的“源”，主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
特種氣體興起于60年代中期，作為基礎化工材料，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展，其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞，是指那些在特定領域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。根據(jù)有關數(shù)據(jù)顯示，中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長，僅2016年，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術層面歐美國家占據(jù)較好的地位。
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第7年
