掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器,具有很多的性能,是用途為廣泛的一種儀器,它可以進行如下基本分析:
(1)三維形貌的觀察和分析;
(2)在觀察形貌的同時,進行微區(qū)的成分分析。
①觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1~100 nm范圍內,在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶態(tài)、非晶態(tài)不同的、的物理化學性質。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景,將成為未來材料研究的重點方向。掃描電子顯微鏡的一個重要特點就是具有很高的分辨率,現已廣泛用于觀察納米材料。
像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框,束斑可以看成是一個衍射波,絨氈層超微結構檢測服務,中間呈類似高斯分布,只要半高寬和像素大致相等則視為匹配。而此時束斑的大小是大于像素的。
而且掃描電鏡是靠電子束的掃描運動,只要不同像素點覆蓋區(qū)域的電子產額能夠被探測器有效處理和區(qū)分,那電鏡圖片也就能區(qū)分。所以掃描電鏡是完全可分辨比束斑更小的細節(jié)的,而有點地方說掃描電鏡不能區(qū)分比束斑更小的說法是不夠嚴密的。束斑是單點像素1.3~2倍左右,都是匹配的條件。
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