廣東潽拓光電-廣州市阿爾卡特渦輪分子真空泵

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵養(yǎng)護(hù)維修

單級旋片式真空泵的真空度只能到達(dá)1*10-2托，不能到達(dá)再高的原因是：

1、泵的布局上存在“有害空間”，空間中的氣體是無法排除的。當(dāng)旋片轉(zhuǎn)過排氣口后，這一有些氣體又被緊縮，阿爾卡特渦輪分子真空泵保養(yǎng)維修，經(jīng)過轉(zhuǎn)子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，廣州市阿爾卡特渦輪分子真空泵，所以，“有害空間”越小，泵極限真空度越高。

2、泵腔被旋片分隔變成兩有些:排氣空間與吸氣空問，兩者間存在著必定的壓強差。當(dāng)排氣空間的氣體被緊縮得很小時，壓弧很高，會經(jīng)過各種可能的路徑打破到吸氣空間去，使真空度下降。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

3、泵油在泵體內(nèi)循環(huán)活動進(jìn)程中會溶解進(jìn)很多氣體和蒸氣。在吸氣空間，因為壓強較低，溶解的氣體又會跑出來，使泵的真空度不易進(jìn)步。

為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉(zhuǎn)子、旋片的加工精度，盡量削減安裝空隙和有害空間以外，真空可以認(rèn)為zui有用的辦法是將兩只單級泵串接起來，組合成雙級泵。這樣，極限真空度將提高，可達(dá)10-4托(進(jìn)口真空泵可到達(dá)10-5托)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

渦輪分子泵主要由一個外殼與轉(zhuǎn)子和定子組成。旋轉(zhuǎn)圓盤和固定圓盤交叉排列，一個轉(zhuǎn)子盤和一個定子盤組成一個泵級。轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動得越快，抽吸效果就越顯著。現(xiàn)代泵的轉(zhuǎn)速已高達(dá)90 000 min-1，圓周速度為 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制樣機轉(zhuǎn)速就能達(dá)到142 m/s。真空泵養(yǎng)護(hù)維修

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旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，阿爾卡特渦輪分子真空泵維修保養(yǎng)，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹)，氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。

當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，*后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級)，由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負(fù)擔(dān)，因而提高了極限真空度。真空泵維修維護(hù)

真空機組工作原理：

真空機組是以泵為主泵，以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵，因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且同時保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點。真空泵維修維護(hù)

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵ALCATEL 5011分子泵維修

一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組，這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修 ，而當(dāng)前級泵達(dá)到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修

轉(zhuǎn)子的油膜冷卻:這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個輸油管，阿爾卡特渦輪分子真空泵維修，用均勻滴下的冷卻油帶走轉(zhuǎn)子的熱量。油經(jīng)過濾器器、冷卻器，通過密封良好的油泵，再經(jīng)過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉(zhuǎn)子上之后，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而均面在轉(zhuǎn)了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵維修

這不僅將轉(zhuǎn)子的熱量帶走，同時在兩個轉(zhuǎn)子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉(zhuǎn)子表面上依附的微細(xì)塵埃帶走。在泵的出口處設(shè)有油槽，收集廢油，經(jīng)過過濾，冷卻后重新循環(huán)使用。此種方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵維修 ，但由于泵內(nèi)有油，失去了羅茨泵無油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點。再則油具有一定的粘度，對高速旋轉(zhuǎn)的羅茨泵轉(zhuǎn)子增加了不少的摩擦力，當(dāng)然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵維修

所使用的油，要求飽和蒸汽壓應(yīng)盡量代。

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