shimadzu分子泵保養(yǎng)拆解
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  • Shimadzu分子泵作為高精度真空設(shè)備,其保養(yǎng)與拆解需嚴(yán)格遵循規(guī)范以確保性能穩(wěn)定。以下為關(guān)鍵操作流程及注意事項: 一、拆解前準(zhǔn)備1. 關(guān)閉電源并靜置2小時,待轉(zhuǎn)子完全停轉(zhuǎn)2. 使用泄壓閥釋放腔體真空至常壓3. 準(zhǔn)備無塵操作臺及工具包(含陶瓷鑷子、防靜電手套)二、分階段拆解流程(1)外部組件拆卸- 拆除冷卻水管時使用接水盤收集殘余冷卻液- 渦輪組件采用對角線松卸法逐步釋放螺栓應(yīng)力(2)部件處理- 轉(zhuǎn)子提取需保持垂直姿態(tài),防止磁軸承碰撞- 陶瓷軸承需用氟碳溶劑超聲清洗(40kHz,30分鐘)三、關(guān)鍵保養(yǎng)項目1. 軸承系統(tǒng)維護(hù)- 檢查氮化硅滾珠磨損度(允許橢圓度0.8μm)- 更換潤滑脂時采用真空脂定量填充(0.15±0.02ml)2. 動平衡校準(zhǔn)- 使用激光動平衡儀檢測,殘余不平衡量應(yīng)<0.5g·mm/kg- 配重調(diào)整精度需達(dá)0.01g級別四、重組裝注意事項- 真空密封面涂抹全氟聚醚密封脂- 分階段預(yù)抽真空至5×10?3Pa后啟動低速磨合(3000rpm/2h)建議每4000工作小時或累計啟停500次后執(zhí)行保養(yǎng)。拆裝過程中需實時監(jiān)測環(huán)境濕度(<45%RH)及顆粒物濃度(CLASS 5潔凈度)。異常振動值超過4.5mm/s時應(yīng)立即停機(jī)排查。維護(hù)可延長分子泵使用壽命至30000小時以上。

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