潽拓光電:分子泵故障處理
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  • 分子泵故障處理指南分子泵作為高精密真空設(shè)備的部件,其穩(wěn)定運行直接影響真空系統(tǒng)的性能。常見故障處理需遵循以下步驟: 一、啟動故障處理1. 檢查電源:確認380V三相電源相位正確,變頻器無過載報警2. 測試控制器:用萬用表測量控制板輸出電壓(正常范圍24-30V DC)3. 排查機械卡阻:手動盤車檢測軸承阻力(標準值<0.5N·m) 二、異常噪音處理1. 軸承故障判斷:使用定位異響部位,800Hz以上高頻噪音提示軸承損壞2. 異物排查:拆解進氣口濾網(wǎng),使用內(nèi)窺鏡檢查渦輪級間(建議每2000小時清潔)### 三、真空度下降處理1. 密封檢測: - 氦質(zhì)譜檢漏儀檢測法蘭(漏率<1×10^-9 Pa·m3/s) - 更換失效的氟橡膠密封圈(壓縮量保持30%)2. 油質(zhì)監(jiān)測:取樣檢測擴散泵油粘度(新油40mm2/s,報廢值<28mm2/s) 四、溫度異常處理1. 散熱系統(tǒng)檢查: - 水冷系統(tǒng)流量≥5L/min,溫差<3℃ - 風冷設(shè)備清潔翅片(壓降<50Pa)2. 潤滑系統(tǒng)維護:補充合成酯類潤滑油(ISO VG22),單次注油量不超過50ml### 預防性維護要點1. 建立振動監(jiān)測檔案(速度值<4.5mm/s RMS)2. 每運行4000小時更換分子篩吸附器3. 使用紅外熱像儀定期掃描電機溫升(ΔT<15K)注意事項:處理前必須執(zhí)行標準泄壓流程,待泵體溫度降至40℃以下方可操作。涉及轉(zhuǎn)子動平衡(G2.5級)或磁軸承(間隙0.1-0.3mm)調(diào)整時,建議返廠維護。通過系統(tǒng)化故障診斷和預防性維護,可將分子泵MTBF提升至30,000小時以上,顯著降低非計劃停機風險。

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