潽拓光電:氦氣檢漏儀維修
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  • ?氦氣檢漏儀(氦質(zhì)譜檢漏儀)的維修主要包括機械泵故障處理、分子泵故障處理以及質(zhì)譜室故障處理等幾個方面?。?機械泵故障處理?:機械泵無法啟動:檢查電源電壓是否正常,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)?。機械泵聲音異常:檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變質(zhì),油溫是否過高,以及油霧過濾器的出口是否有氣體排出(如無氣體排出,需更換油霧過濾器)?。?分子泵故障處理?:TMP顯示為0(分子泵沒有工作):可能是前級壓力過高(分子泵啟動壓力通常為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動,需檢查真空規(guī)管、分子泵出口、機械泵油及機械泵旋轉(zhuǎn)情況;也可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子損壞,需用工具撥動葉片檢查是否能轉(zhuǎn)動;還可能是電路板上的保險絲燒斷或電路板設(shè)置開關(guān)處于錯誤位置,需更換保險絲或檢查短路現(xiàn)象,并將電路板設(shè)置開關(guān)置于正確位置?。分子泵加速指示燈不亮:更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象?2。分子泵故障燈亮:檢查電路板設(shè)置開關(guān)位置是否正確,以及風(fēng)扇是否正常運行,如風(fēng)扇正常則可能為分子泵電源故障?。?質(zhì)譜室故障處理?:燈絲無法正常啟動:在確認(rèn)機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源;若燈絲指示燈閃爍,需檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,以及接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通?

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