半導(dǎo)體膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理
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  • 半導(dǎo)體膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理是基于磁通和磁阻的變化來(lái)測(cè)定半導(dǎo)體材料上薄膜的厚度。在測(cè)量過(guò)程中,儀器利用測(cè)頭產(chǎn)生磁通,這些磁通經(jīng)過(guò)非鐵磁覆層(即半導(dǎo)體薄膜)流入到鐵磁基體。由于磁通的流動(dòng)受到薄膜厚度的影響,因此通過(guò)測(cè)量磁通的大小,我們可以推斷出薄膜的厚度。具體來(lái)說(shuō),當(dāng)薄膜較薄時(shí),磁通能夠較為容易地穿過(guò)薄膜流入鐵磁基體,此時(shí)測(cè)得的磁通量相對(duì)較大。相反,隨著薄膜厚度的增加,磁通在穿過(guò)薄膜時(shí)受到的阻礙也會(huì)增大,導(dǎo)致流入鐵磁基體的磁通量減小。因此,通過(guò)對(duì)比不同厚度下磁通量的變化,我們可以確定薄膜的厚度。此外,磁感應(yīng)測(cè)量原理還可以通過(guò)測(cè)定與磁通相對(duì)應(yīng)的磁阻來(lái)表示覆層厚度。磁阻是表示磁場(chǎng)在物質(zhì)中傳播時(shí)所遇到的阻礙程度,它與磁通的大小成反比。因此,覆層越厚,磁阻越大,磁通越小,這也是磁感應(yīng)測(cè)量原理能夠準(zhǔn)確測(cè)定薄膜厚度的關(guān)鍵所在??偟膩?lái)說(shuō),半導(dǎo)體膜厚儀的磁感應(yīng)測(cè)量原理是一種基于磁通和磁阻變化來(lái)測(cè)定薄膜厚度的有效方法。這種方法具有高精度、高分辨率和高靈敏度等特點(diǎn),在半導(dǎo)體制造業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用前景。

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