有誰知道:高真空渦輪分子泵維修保養(yǎng)的方法?
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  • 高真空渦輪分子泵內(nèi)有一個高速旋轉(zhuǎn)(每分鐘幾萬轉(zhuǎn))的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子上有渦輪和拖動級進行抽氣。

  • 在高真空渦輪分子泵剛剛開始工作的階段,由于有大量的氣體由進氣口被抽到排氣口,所以這種返流對實際抽速帶來的影響不是很大,而隨著進氣口壓力的下降,分子泵抽下來的氣體量在減少,這時,氣體返流對抽速的影響也就大起來了。這就是分子泵對小分子氣體,特別是氫氣的抽氣能力較差的原因。

  • 對于高真空/超高真空系統(tǒng),當系統(tǒng)內(nèi)的壓力低于10-6毫巴以后,系統(tǒng)內(nèi)氫氣占的比例越來越大,而此時氫氣的返流也越來越明顯,因此此時分子泵的有效抽速已經(jīng)與產(chǎn)品說明書給出的參數(shù)相差很大了。分子泵對氫氣的壓縮比越大,分子泵對氫氣的實際有效抽速就越大;反之,則實際有效抽速已經(jīng)所剩無幾。

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