渦輪分子泵的工作原理?優(yōu)缺點有哪些
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  • 渦輪分子泵的抽氣原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個必要條件:1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。

  • 由于渦輪分子泵在某些方面,要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現(xiàn)得更******。故在一般情況下,多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點有:(1)清潔,無油蒸汽返流;(2)使用方便;(3)氣體輸送能力強;(4)適于超高真空應(yīng)用;(5)高壓力下性能良好;6)循環(huán)的時間短;(7)正常使用時間長

  • 當(dāng)然,任何真空泵都有不足之處,渦輪分子泵也不例外。它的缺點:(1) 設(shè)備費用高;(2) 對顆粒物或沉積物敏感;(3) 噪音與振動;(4) 破碎問題;(5) 暴露大氣易引起事故

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