精密金剛石切割片選什么解決方案? 有懂行的嗎?
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  • 劃片用切割片:在晶體加工后半制程中,待晶圓背面減薄后,貼膜,然后使用高精密超薄金剛石切割片進(jìn)行劃片加工。切割片可以是有輪轂或無(wú)輪轂,制作方法有電鍍、真空釬焊和冷壓燒結(jié)幾種。

  • 采取新的金剛石鍍層和新的鍍層工藝以及在結(jié)合劑中添加微量金屬元素兩者相結(jié)合的新思路來(lái)解決上述問(wèn)題。在結(jié)合劑調(diào)整的基礎(chǔ)上,針對(duì)不同鍍層材料和新的工藝方法的試驗(yàn)研究。經(jīng)反復(fù)篩選試驗(yàn),發(fā)現(xiàn)Ti、W、(W+Co)等金屬均能與金剛石形成強(qiáng)碳化物。

  • 將基體對(duì)金剛石鑲嵌的機(jī)械把持作用,連接優(yōu)化為鑲嵌/釬焊復(fù)合連接,提高了金剛石出刃高度和鋒利度,采用新型釬焊材料與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的預(yù)合金粉末制備的刀頭切割花崗巖時(shí),切割速度可提高1.5~2倍,鋸片壽命延長(zhǎng)1.2~1.6倍。

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